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      Diener 等離子表面處儀 Tetra120

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      Diener 等離子表面處儀 Tetra120

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      技術應用鏈接:

      Tetra 120 LF-PC | 特殊設備

      開關柜: 寬 600 mm、高 2100 mm、深 800 mm

      腔室: 寬 700 mm、高 200 mm、深 700 mm

      腔室容積: 約120 升

      氣體供給: MFC 控制的氣體通道

      發生器:  40 kHz,13.56 MHz

      控制系統: PC 控制系統 (Windows) 

      未找到相應參數組,請于后臺屬性模板中添加

       

       

       

       

       

       

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