技術應用鏈接:
Tetra 120 LF-PC | 特殊設備
開關柜: 寬 600 mm、高 2100 mm、深 800 mm
腔室: 寬 700 mm、高 200 mm、深 700 mm
腔室容積: 約120 升
氣體供給: MFC 控制的氣體通道
發生器: 40 kHz,13.56 MHz
控制系統: PC 控制系統 (Windows)
上海爾迪儀器科技有限公司

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Tetra 120 LF-PC | 特殊設備
開關柜: 寬 600 mm、高 2100 mm、深 800 mm
腔室: 寬 700 mm、高 200 mm、深 700 mm
腔室容積: 約120 升
氣體供給: MFC 控制的氣體通道
發生器: 40 kHz,13.56 MHz
控制系統: PC 控制系統 (Windows)
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