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      Diener 等離子表面處儀 Tetra6

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      Diener 等離子表面處儀 Tetra6

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      技術應用鏈接:

      Tetra 6 LF-PC

      腔室:Dia.90,L1050mm

      腔室容積:約 6 升

      氣體供給:MFC 控制的氣體通道

      發生器:40 kHz或13.56 MHz 

      控制系統:配有工業現場總線的 PC-控制系統 (Windows)

      未找到相應參數組,請于后臺屬性模板中添加

       

       

       

       

       

       

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